單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料

在直拉單晶爐的熱系統中，單晶爐熱場(chǎng)的好壞直接關(guān)系到單晶硅的質(zhì)量，合格的熱場(chǎng)能夠生長(cháng)出高質(zhì)量的單晶，因此創(chuàng )造良好的熱場(chǎng)條件，在直拉單晶工藝上有非常重要的意義。而單晶爐中各部分工件使用壽命是整個(gè)熱場(chǎng)系統的關(guān)鍵。

單晶爐熱場(chǎng)一般包括壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩、加熱器、電極、石墨坩堝、坩堝托桿、坩堝托盤(pán)、導流筒、石墨螺栓，爐底、金屬電極、托桿。其中石墨坩堝是單晶熱場(chǎng)系統中的關(guān)鍵核心部件，石墨坩堝最主要的兩個(gè)作用為支撐作用和熱量傳遞的作用。由于高溫時(shí)石英坩堝變軟，石英坩堝外部必然需要高溫狀態(tài)下的支撐材料。在加熱過(guò)程中，加熱器首先輻射熱量給石墨坩堝，石墨坩堝傳遞熱量進(jìn)一步加熱石英坩堝，然后再維持石英坩堝內部硅料的狀態(tài)，因此通常需要耐高溫1600℃以上。單晶爐用石墨坩堝，主要采用等靜壓高純石墨制成，大多數石墨坩堝使用正常壽命約40-60爐次，硅蒸汽在石墨表層的長(cháng)期反復滲透沉積容易導致石墨坩堝損壞。

     為了防止這種情況發(fā)生，可以選用ZS-1052單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料對石墨坩堝進(jìn)行表面處理。ZS-1052石墨防氧化劑采用新型化工合成技術(shù)——樹(shù)脂主鏈熔斷技術(shù)，在石墨中滲透性、包裹性好，同時(shí)有物理粘附和化學(xué)橋聯(lián)作用，能和基體形成一體化結構。涂刷后涂料耐溫可以達到1800℃高溫。有效防止硅蒸汽滲透接觸石墨，單晶硅爐石墨坩堝抗氧化涂料防止石墨坩堝制品被侵蝕損壞。

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